| 元素範圍 |
鈦(Ti22) ~ 鈾(U92) |
| X射線激發系統 |
垂直上照式X射線光學系統，50W(4-50kV，0-1.0mA)（可選75W） |
| 靶材 |
標準靶材：Rh靶；任選靶材：W、Mo、Ag等 |
| 濾光片 |
二次X射線濾光片：3個位置程式控制交換，多種材質、多種厚度的二次濾光片任選 |
| 准直器程式控制交換系統 |
最多可同時裝配6種規格的准直器。圓形，如4、6、8、12、20 mil等矩形，如1x2、2x2、0.5x10、1x10、2x10、4x16等 |
| 測量斑點尺寸 |
在12.7mm聚焦距離時，最小測量斑點尺寸為：0.078 x 0.055 mm(使用0.025 x 0.05
mm准直器)。在12.7mm聚焦距離時，最大測量斑點尺寸為：0.38 x 0.42 mm(使用0.3mm准直器) |
| 樣品室 |
開槽式樣品室，610mm x 610mm |
| XY軸程式控制移動範圍 |
標準：152.4 x 177.8mm 還有5種規格任選 |
| Z軸程式控制移動高度 |
43.18mm |
| XYZ三軸控制方式 |
多種控制方式任選：XYZ三軸程式控制、XY軸手動控制和Z軸程式控制、XYZ三軸手動控制 |
| 樣品觀察系統 |
高分辨彩色CCD觀察系統標配30倍，鐳射自動對焦功能，可變焦距控制功能和固定焦距控制功能 |
| 測厚範圍 |
取決於您的具體應用來配置 |
X射線螢光鍍層測厚儀 CMI 900