| 1. |
鮮明的SEM圖像上進行高精度測量 |
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Ⅰ |
從極低倍到高倍，在圖像上就可以直接進行長度和角度測量，即在鮮明的圖像上進行高 |
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精度測量。保存後的圖像也可以用SMile View軟體（選購件）打開並進行測量。 |
| 2. |
3D觀察-測量（選購） |
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Ⅰ |
J利用掃描電子顯微鏡焦深大的特點，可以進行立體的高度測量。同一個視野，傾斜角 |
| 2 |
度改變10°左右，獲得兩張圖像，進行高度測量。 |
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| 3. |
不僅可以觀察圖像，還可以進行成分分析 |
| 2 |
Ⅰ |
不僅可以利用二次電子資訊進行樣品表面觀察，還可以利用背散射電子成份襯度像進行異 |
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物及多層膜觀察。另外，還可以使用能量分散型光譜儀（EDS）進行元素分析。日本電子 |
| 產能譜儀JED-2300可以與主機實現一體化，將點鏡擴展為分析型點鏡。 |
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| 4. |
技術參數 |
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| 解析度 |
5.0nm |
放大倍數 |
× 8 ∼ 300000 |
| 加速電壓 |
0.5 ∼ 20kV |
Z軸 |
5 ∼ 48mm |
| R軸 |
360º |
T軸 |
−10 ∼ 90º |
| 樣品厚度 |
43mm |
真空系統 |
TMP/RP |
| 功率 |
1.5kVA以下 |
重量 |
約265Kg |
| 儀器尺寸 |
600(W) × 1,000(D) × 1,450mm(H) |
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| 3 |
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