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剖面拋光儀SM-09010
SM-09010剖面拋光儀是一款操作簡便的制樣設備，用於SEM, EPMA, 和SAM的樣品製備。它可以製備軟的、硬的和複合材料的樣品，損傷、污染和變形可以控制得非常小。依靠離子束轟擊製備樣品剖面，觀察範圍大、清潔而且適用於幾乎所有材料。
主要特点：
SM-09010剖面拋光機，可以一步到位地製備出鏡面樣品。它幾乎可以適用於各種材料，包括難以拋光的軟材料，如銅、鋁、金、焊料和聚合物等；以及難以切割的材料，如陶瓷和玻璃等。配套的高級光學顯微鏡，可以精確地把樣品定位在幾個微米大小的剖面位置上。製備過程中，自動控制樣品搖擺，以避免產生表面劃痕。由於離子束水準入射、氬離子不會滲入樣品表面。
技術參數
| 加速電壓 |
2 ∼ 6kV |
| 傾斜角 |
最大±5º |
| 離子束直徑 |
500μm(FWHM) |
| 氣體 |
氬氣 |
| 儀器尺寸 |
11mm(W) x 10mm(D) x 2mm(H) |
| 拋光速度 |
1.3µm/min（加速電壓6KV，工作距離100µm） |
| 最大樣品尺寸 |
2.8mmD×0.5 mmW×0.1mmH |
| 真空抽氣系統 |
涡轮分子泵或机械泵 |
| 樣品台行程 |
X=±3mm, Y=±3mm |
| 真空測量 |
Penning 彭寧真空規 |
實例分析
| 金 |
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金 |
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| 鎳 |
鎳 |
| 銅 |
銅 |
| 傳統的機械拋光 |
使用SM-09010剖面拋光儀 |
| 金 |
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金 |
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| 鎳 |
鎳 |
| 銅 |
銅 |
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傳統的機械拋光 |
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使用SM-09010剖面拋光儀 |
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